- химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
- MOCVD
- metal-organic chemical vapor deposition
химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором используются металлоорганические соединения, термически разлагающиеся при температурах более низких, чем другие металлосодержащие соединения; метод часто используется при эпитаксиальном выращивании очень тонких пленок полупроводников III-V.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- полупроводниковые приборы
EN
- MOCVD
- metal-organic chemical vapor deposition
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии. academic.ru. 2015.
